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国网北方客服分中心建立协同服务机制 服务“最后一公里”
发布时间:2025-07-02 11:21:13  来源:金桥电子商务有限公司

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此外,北方ZrO2-BTMST光刻胶的化学成分极少,可实现高精度图案化,线宽小至38nm。典型代表:客服氧化锆(ZrO2)混合光刻胶,其灵敏度几乎比聚合物基光刻胶高两个数量级,并且一直保持着极紫外光刻领域的最高灵敏度记录。

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在近20年的高敏感材料探索中,分中金属氧化物基光刻胶的出现,为极紫外光源和反射镜不协调挑战带来了解决方案。在打印精度方面,心建获得了LW为38nm的打印图案。立协ZrO2杂化光刻胶无需与聚合物复合即可具有优异的成膜能力。

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同服©2023SpringerNature.图2基于多边形激光扫描仪的TPL使用ZrO2-BTMST光刻胶在780nm光波长下曝光的图案。©2023SpringerNature.五、机务最【成果启示】作者报告了一种用于高速TPL制造的极灵敏ZrO2-BTMST光刻胶。

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制服原文详情:https://doi.org/10.1038/s41565-023-01517-w。

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